臺(tái)式掃描電子顯微鏡的優(yōu)勢(shì)為可以直接觀察非常粗糙的樣品表面，參差起伏的材料原始斷口。但其劣勢(shì)為樣品必須在真空環(huán)境下觀察，因此對(duì)樣品有一些特殊要求,籠統(tǒng)的講：干燥,無油,導(dǎo)電。具體的掃描電子顯微鏡的操作流程如下：

首先，放樣品，再調(diào)整樣品的位置：長(zhǎng)按鼠標(biāo)中鍵即顯示指向箭頭，向上拖動(dòng)箭頭升高樣品臺(tái)至10mm處， 點(diǎn)擊屏幕抽真空，待真空度滿足要求后點(diǎn)擊Beam on 加高壓打電子束至樣品表面，這時(shí)就可以進(jìn)行觀察，v模式選擇：SE(二次電子)和BSE(背散射電子)是掃描電鏡成像的基礎(chǔ)信號(hào)，掃描電鏡提供二次電子(SE)和背散射電子(BSE)兩種模式供使用者選擇，二者區(qū)別是：二次電子能量低，主要反映試樣表面厚度為50~100?的形貌特征，背散射電子比二次電子能量高，分辨率差，背散射電子的信號(hào)強(qiáng)度隨原子序數(shù)的增大而增強(qiáng)，背散射電子反映試樣表面50-200nm深度的試樣的成分分布形貌，使用者在選擇時(shí)可以根據(jù)樣品特征選擇適合的拍照模式。

其次，在進(jìn)行調(diào)焦：使用鼠標(biāo)右鍵在高倍下調(diào)焦，調(diào)焦過程中先大幅度調(diào)節(jié)確定調(diào)整方向，然后微調(diào)獲得最清晰的像；改善圖片質(zhì)量：可以通過點(diǎn)擊Stigmator進(jìn)行色散校正，Beam shift進(jìn)行光束漂移校正以及調(diào)對(duì)比度和亮度獲得符合要求的照片；拍照：點(diǎn)擊Image Acqusition進(jìn)行拍照，低倍下看全貌，高倍下看細(xì)節(jié)，拍照時(shí)可以設(shè)置拍照時(shí)間，建議低倍下可以快速拍，高倍下拍照速度過快會(huì)影響圖片質(zhì)量，將照片命名好并保存在自己想要的位置；zui后就是取樣，點(diǎn)擊屏幕放氣后取樣，取樣后點(diǎn)擊PUMP抽真空至<10-3Pa保證樣品室處于真空狀態(tài)。

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