在半導(dǎo)體器件的制造過程中，晶圓的檢測(cè)對(duì)保證產(chǎn)品的質(zhì)量是非常重要的。通過檢測(cè)晶圓的缺陷并進(jìn)行分析，可以找到產(chǎn)生缺陷的原因，從而實(shí)現(xiàn)成品率的提高和生產(chǎn)線的穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。目前，使用掃描電子顯微鏡檢測(cè)對(duì)晶圓進(jìn)行缺陷檢查是較為常用的一種方法。

而對(duì)于掃描電子顯微鏡檢測(cè)，這類精密設(shè)備的檢測(cè)操作往往需要相當(dāng)?shù)臉?biāo)準(zhǔn)化，在使用過程中需要注意很多的東西，才能夠延長(zhǎng)掃描電鏡的使用壽命，在操作中有哪些具體的要求呢？下面小編將詳細(xì)介紹一下，具體的要求如下：首先關(guān)于樣品的要求：需用掃描電鏡觀測(cè)的樣品，必須干燥，無揮發(fā)性，有導(dǎo)電性，能與樣品臺(tái)牢固粘結(jié)（塊狀試樣的下底部需平整，利于粘結(jié)）。對(duì)鑲嵌塊，斷面樣品等高度大的樣品，千萬不要對(duì)樣品臺(tái)平面聚焦，只能對(duì)樣品上表面聚焦。

其次，就是有關(guān)電腦的特別提醒：掃描電鏡的電腦是控制整臺(tái)掃描電鏡的，電腦的CMOS管理，顯示卡及驅(qū)動(dòng)程序等與普通電腦不同，請(qǐng)不要當(dāng)作普通電腦來使用。禁止修改電腦的任何設(shè)置，禁止安裝任何軟件。禁止使用USB接口、U盤。使用光驅(qū)或軟驅(qū)等需經(jīng)電鏡管理人員檢查同意，嚴(yán)防病毒感染。電腦的許多指令要驅(qū)動(dòng)掃描電鏡中的電氣部件或機(jī)械部件的一系列動(dòng)作，時(shí)間可能較長(zhǎng)，千萬不要連續(xù)點(diǎn)擊或按鍵，否則可能引起電腦死機(jī)。文件名不要超過8位，要以字母開頭。

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