電子顯微鏡的放大倍數(shù)最高可達(dá)近百萬倍(約300萬倍左右,當(dāng)然隧道顯微鏡就不同了,300000000倍左右。)、由照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、記錄系統(tǒng)、電源系統(tǒng)5部分構(gòu)成,如果細(xì)分的話:主體部分是電子透鏡和顯像記錄系統(tǒng),由置于真空中的電子槍、聚光鏡、物樣室、物鏡、衍射鏡、中間鏡、投影鏡、熒光屏和照相機(jī)。
理論上而言,成像分辨率取決于工作物質(zhì)波長,電子的波長取決于其速度,速度取決于其加速電場的強(qiáng)度,場強(qiáng)取決于電壓,如果電壓足夠猛,分辨率就可以足夠高,就有足夠高的有效放大倍數(shù)了。當(dāng)然前提是機(jī)器受得了。
電子顯微鏡的放大倍數(shù)比光學(xué)顯微鏡的倍數(shù)大是因?yàn)殡婄R的放大倍數(shù)比光學(xué)顯微鏡更大是因?yàn)槠涞虏剂_意波長短。相比較傳統(tǒng)用的是可見光的光學(xué)顯微鏡,電子顯微鏡用的是高頻電子射波,在放大倍數(shù)上更強(qiáng),觀察效果更清晰。這也很多高校實(shí)驗(yàn)室來博越儀器采購電子顯微鏡的原因所在。
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