掃描倒置電子金相顯微鏡是六十年代發(fā)展起來的一種精密電子學(xué)儀器。利用它可以觀察塊狀樣品的表面形態(tài),從而得出有關(guān)樣品立體結(jié)構(gòu)的概念。金相顯微鏡一種用于掃描電子顯微鏡的新型電光儀器。它具有簡單的樣品制備、放大倍率可調(diào)范圍寬度、圖像分辨率高、景深等。掃描電子顯微鏡已被廣泛應(yīng)用于生物學(xué)領(lǐng)域、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)幾十年,并促進了各相關(guān)學(xué)科的發(fā)展。掃描電子顯微鏡的特點:電子顯微鏡,高圖像分辨率,納米級分辨率,可調(diào)放大倍數(shù)和大,另一個重要特征是大景深和豐富的三維圖像。
我們要知道金相顯微鏡與掃描電鏡之間存在很大差異,主要表現(xiàn)在以下幾個方面:一、光源不同:金相顯微鏡使用可見光作為光源,掃描電子顯微鏡使用電子束作為光源進行成像。二、原理不同:金相顯微鏡采用幾何光學(xué)成像原理進行掃描,掃描電子顯微鏡使用高能電子束轟擊樣品表面,激發(fā)表面上的各種物理信號。采樣,然后使用不同的信號檢測器接收物理信號并將其轉(zhuǎn)換為圖像信息。
三、分辨率:由于光的干涉和衍射,金相顯微鏡只能限制在0.2-0.5um。掃描電子顯微鏡使用電子束作為光源,其分辨率可達到1-3nm。因此,金相顯微鏡的微觀結(jié)構(gòu)觀察屬于微米分析,掃描電子顯微鏡的觀察屬于納米尺度分析。四、景深:一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間,因此樣品的表面光滑度要求極高,因此制備過程相對復(fù)雜。 SEM的景深可以高達幾個。
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