臺式電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。因此臺式電子顯微鏡和掃描電鏡是無法區(qū)別對比的，臺式電子顯微鏡的分類中包含掃描電鏡，下面我們就來一起詳細(xì)了解下兩者。

電子顯微鏡，簡稱電鏡，英文名Electron Microscope（簡稱EM），經(jīng)過五十多年的發(fā)展已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的重要工具。其中，掃描電鏡的特點(diǎn) 和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比，掃描電鏡具有以下特點(diǎn)：1.能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)，樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。2. 樣品制備過程簡單，不用切成薄片。3.樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn)，因此，可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀察。

其次，4. 景深大，圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。5. 圖象的放大范圍廣，分辨率也比較高?？煞糯笫畮妆兜綆资f倍，它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間，可達(dá)3nm。6.電子束對樣品的損傷與污染程度較小。7. 在觀察形貌的同時，還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析。

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