聚焦離子束掃描電子顯微鏡是一種用于材料科學、化學、物理學、航空、航天科學技術領域的分析儀器，聚焦離子束(FIB)光源與掃描電子顯微鏡(SEM)相結合，由于其獨特的生成各種結構的能力，無論是通過切割還是離子束誘導沉積(IBID)，都引起了人們的極大興趣。通過SEM觀察。

其主要應用于各種材料形貌觀察和分析，如金屬、半導體、陶瓷、高分子材料、有機聚合物等;材料微納結構的樣品制備，包括：SEM在線觀察下制備TEM樣品、材料微觀截面截取與觀察、樣品微觀刻蝕與沉積等.。但是，在一些情況下，兩種離子源都不是理想的選擇。

聚焦離子束掃描電子顯微鏡，允許快速、簡便地進行離子束切換的儀器。以前，應用不同的離子束需要研究人員在儀器之間轉移樣品,或進行冗長而復雜的源交換。使用獨立的專用寬束氬離子拋光機,在初始切割后,可直接將聚焦的氬離子應用于樣品拋光,從而大大減少了樣品的轉移和處理時間。切換時間為 10 分鐘或更短,研究人員還可以在一個小節(jié)內將所有 4 束光束應用于樣品,以確定哪種離子最適合其預期用途。這種靈活性擴展了FIB在探索電子-樣品相互作用方面的潛在應用。

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