一、透射電子顯微鏡 TEM，它的主要原理是將高壓電子束引導至樣品以照亮樣品并產(chǎn)生樣品的放大圖像。由于透射電鏡具有原位觀察、高分辨顯像等功能，適宜觀察光學顯微鏡觀察不到的細微結構。比如：細胞、組織分析、晶體結構等。二、掃描電子顯微鏡 SEM，從成像原理分析，掃描電子顯微鏡的分辨率會比透射電子顯微鏡的分辨率稍差。但它的優(yōu)勢在于可以利用表面處理，創(chuàng)建大樣本的圖像，尺寸可達幾厘米，并且具有較大的景深。因此，來自 SEM 的圖像可以較好地表達樣品的真實形狀。

三、反射電子顯微鏡 REM，反射電子顯微鏡涉及檢測從被檢查的樣品反射的彈性散射電子束。反射高能電子衍射 (RHEED) 和反射高能損失光譜 (RHELS) 技術通常用于此類顯微鏡。由于電子顯微鏡的原理及用途也各不相同，所以應用領域也不同。比如：TEM透射電鏡廣泛應用于科研實驗室主要用于來研究細菌、組織切片和其他微生物。另外，SEM 還經(jīng)常用于材料科學研究的測試和故障分析，檢查高溫下的超導體、合金強度和納米管，最終影響電子產(chǎn)品對航空航天業(yè)的影響。掃描電子顯微鏡還常用于法醫(yī)調(diào)查。比如：通過 SEM 所提供的放大倍數(shù)，來分析證據(jù)類型的來源，從而得出與法律目的相關的調(diào)查結論。