掃描透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡看著很相似，導(dǎo)致一些采購(gòu)設(shè)備人員容易混淆，那掃描透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡有什么區(qū)別呢？下面我們就來(lái)為大家詳細(xì)介紹下。

透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡的區(qū)別如下：主要有結(jié)構(gòu)、基本工作原理差異：透射電子顯微鏡是用透過樣品的電子束使其成像的電子顯微鏡，在一個(gè)高真空系統(tǒng)中，由電子槍發(fā)射電子束，穿過被研究的樣品，經(jīng)電子透鏡聚焦放大，在熒光屏上顯示出高度放大的物像，還可作攝片記錄的一類最常見的電子顯微鏡。而電子掃描顯微鏡是用電子探針對(duì)樣品表面掃描使其成像的電子顯微鏡。應(yīng)用電子束在樣品表面掃描激發(fā)二次電子成像的電子顯微鏡。主要用于研究樣品表面的形貌與成分。

另外在對(duì)樣品要求，掃描電鏡SEM制樣對(duì)樣品的厚度沒有特殊要求，可以采用切、磨、拋光或解理等方法將特定剖面呈現(xiàn)出來(lái)，從而轉(zhuǎn)化為可以觀察的表面。透射電鏡由于TEM得到的顯微圖像的質(zhì)量強(qiáng)烈依賴于樣品的厚度，因此樣品觀測(cè)部位要非常的薄，例如存儲(chǔ)器器件的TEM樣品一般只能有10～100nm的厚度，這給TEM制樣帶來(lái)很大的難度。目前比較理想的解決方法是通過聚焦離子束刻蝕（FIB）來(lái)進(jìn)行精細(xì)加工。

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