電子掃描顯微鏡是一種大型分析儀器，它廣泛應(yīng)用于觀察各種固態(tài)物質(zhì)的表面超微結(jié)構(gòu)的形態(tài)和組成，是自上世紀(jì)60年代作為商用電鏡面世以來(lái)迅速發(fā)展起來(lái)的一種新型的電子光學(xué)儀器，被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。

電子掃描顯微鏡其所謂掃描是指在圖象上從左到右、從上到下依次對(duì)圖象象元掃掠的工作過(guò)程。它與電視一樣是由控制電子束偏轉(zhuǎn)的電子系統(tǒng)來(lái)完成的，只是在結(jié)構(gòu)和部件上稍有差異而已。 在電子掃描中，把電子束從左到右方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做行掃描或稱作水平掃描，把電子束從上到下方向的掃描運(yùn)動(dòng)叫做幀掃描或稱作垂直掃描。兩者的掃描速度完全不同，行掃描的速度比幀掃描的速度快，對(duì)于1000條線的掃描圖象來(lái)說(shuō)，速度比為1000。

掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀，但由于其本身具有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，發(fā)展速度是很快的，首先，在儀器分辨率較高，通過(guò)二次電子象能夠觀察試樣表面6nm左右的細(xì)節(jié)，采用LaB6電子槍，可以進(jìn)一步提高到3nm。其次，儀器放大倍數(shù)變化范圍大，且能連續(xù)可調(diào)。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場(chǎng)進(jìn)行觀察，同時(shí)在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達(dá)到的高亮度的清晰圖像。還有觀察樣品的景深大，視場(chǎng)大，圖像富有立體感，樣品制備簡(jiǎn)單等特點(diǎn)。

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