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電子顯微鏡原理-簡單易懂介紹[博越儀器]

作者:博越儀器 發(fā)布時(shí)間:2022-01-10 13:35:23 瀏覽人數(shù):3114

電子顯微鏡原理是采用電子束為光源,照射固體材料,以電子束散射的電子為信號(hào),主要用于對(duì)材料表面或內(nèi)部結(jié)構(gòu)形態(tài)形貌進(jìn)行高分辨成像,包括透射電子顯微鏡(TEM)、掃描透射電子顯微鏡(STEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)。下圖包括SEM和STEM高分辨圖像。


電子顯微鏡原理


電子顯微鏡原理是利用,對(duì)電子束進(jìn)行折射的物質(zhì)為電場(chǎng)或磁場(chǎng),中心對(duì)稱的磁場(chǎng),其成像性質(zhì)和高斯透鏡幾何光學(xué)一級(jí)近似,被稱為磁透鏡。磁透鏡可以是永磁和電磁。地球沿著南北極貫穿,可以看做一個(gè)巨大的磁透鏡,磁透鏡焦距固定;電磁透鏡通過改變線圈電流可改變透鏡磁場(chǎng)強(qiáng)度,從而改變透鏡焦距。


電子顯微鏡原理


基于電子顯微鏡原理,其電子顯微成像方式TEM成像采用平行入射電子束照射樣品,后續(xù)的電磁透鏡通過同時(shí)聚焦從樣品各個(gè)像素點(diǎn)發(fā)出的不同散射方向透射電子(TE-transmission electron),從而對(duì)電子束照射區(qū)域進(jìn)行放大成像,通過調(diào)節(jié)中間的電磁透鏡焦距,可實(shí)現(xiàn)放大倍數(shù)調(diào)節(jié),最后用投影鏡將物像照射在圖像記錄或顯示上;SEM/STEM使用匯聚電子束照射樣品 ,逐點(diǎn)掃描成像,空間分辨率和匯聚電子束束斑直徑相關(guān),通過改變電子束掃描區(qū)域大小來改變放大倍數(shù)。


電子顯微鏡原理


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