電子顯微鏡,簡稱電鏡,電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。經(jīng)過五十多年的發(fā)展已成為現(xiàn)代科學技術(shù)中不可缺少的重要工具。電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。而電子顯微鏡的分辨率是形貌結(jié)構(gòu)類放大儀器最重要的性能指標,下面我們就來一起具體了解下。
電子顯微鏡是使用電子來展示物件的內(nèi)部或表面的顯微鏡。高速的電子的波長比可見光的波長短(波粒二象性),而顯微鏡的分辨率受其使用的波長的限制,因此電子顯微鏡的理論分辨率(約0.1納米)遠高于光學顯微鏡的分辨率(約200納米)。在光學顯微鏡下無法看清的小于0.2um的細微結(jié)構(gòu),這些結(jié)構(gòu)稱為亞顯微結(jié)構(gòu)或超微結(jié)構(gòu)。要想看清這些結(jié)構(gòu),就必須選擇波長更短的光源,以提高顯微鏡的分辨率。1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡,電子束的波長要比可見光和紫外光短得多,并且電子束的波長與發(fā)射電子束的電壓平方根成反比,也就是說電壓越高波長越短。目前TEM的分辨力可達0.2nm。
并且由于電子的德布羅意波長非常短,透射電子顯微鏡的分辨率比光學顯微鏡高的很多,可以達到0.1~0.2nm,放大倍數(shù)為幾萬~百萬倍。因此,使用透射電子顯微鏡可以用于觀察樣品的精細結(jié)構(gòu),甚至可以用于觀察僅僅一列原子的結(jié)構(gòu),比光學顯微鏡所能夠觀察到的最小的結(jié)構(gòu)小數(shù)萬倍。TEM在中和物理學和生物學相關(guān)的許多科學領(lǐng)域都是重要的分析方法,如癌癥研究、病毒學、材料科學、以及納米技術(shù)、半導(dǎo)體研究等等。
電子顯微鏡的分辨率?綜合來說,電子顯微鏡在工業(yè)生產(chǎn)的多個領(lǐng)域中都發(fā)揮重要作用,推動金屬材料在工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用和進步,是材料金相學等研究必不可少的重要設(shè)備,目前博越儀器可提供多款高品質(zhì)的顯微鏡設(shè)備!