光譜儀的光學(xué)系統(tǒng)是由入射狹縫、光柵、出射狹縫及羅蘭圓組成——其目的是讓采集到的一束復(fù)合光通過光學(xué)系統(tǒng)的分光作用后變成單色光，找到每個(gè)元素的特征分析譜線。

光譜儀的光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)室特性，真空光室測(cè)試UV波段的元素：C、N、O、P、S、B。主要應(yīng)用在Fe基或是其他的合金(如：Ti,Al…)；空氣光室測(cè)試可見光波段和紅外波段元素。溫度是常數(shù)(恒定)。幾何結(jié)構(gòu)：羅蘭圓、衍射光柵、檢測(cè)器根據(jù)這些來定位。

羅蘭圓的作用：是一個(gè)經(jīng)典的分光結(jié)構(gòu)，能將入射狹縫，光柵和出射狹縫同時(shí)聚焦在羅蘭圓上。光柵的作用：分光--使復(fù)合光變成單色光。遠(yuǎn)紫外光的分光特點(diǎn)：波長短，能量高，要求光柵具有極強(qiáng)的分光能力，故應(yīng)選擇高刻線光柵如3600條/mm進(jìn)行分光，且為了減少紫外光能量損失，應(yīng)選擇對(duì)遠(yuǎn)紫外光吸收小的材料作光柵?？梢姽獾姆止馓攸c(diǎn)：波長居中，能量居中，要求光柵具有較強(qiáng)的分光能力，故應(yīng)選擇中刻線光柵2400條/mm進(jìn)行分光，且對(duì)光柵材質(zhì)無特殊要求。

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