測(cè)量顯微鏡是電子光學(xué)計(jì)量?jī)x器之一種，就是指裝有看準(zhǔn)顯微鏡和座標(biāo)操作臺(tái)的用以二維座標(biāo)規(guī)格測(cè)量的電子光學(xué)計(jì)量?jī)x器。測(cè)量顯微鏡選用透、反射面的方式對(duì)產(chǎn)品工件長(zhǎng)短和視角作高精密測(cè)量。尤其適用錄像視頻磁帶機(jī)、規(guī)模性集成電路芯片圖形界限及其其他高精密零件的檢測(cè)，是一種理想化的多功能的中小型高精密測(cè)量?jī)x器設(shè)備。顯微鏡測(cè)量方法基本上分2種，第一種：目鏡分化測(cè)量。第二種，軟件測(cè)量。

第一種：目鏡分化測(cè)量法這類測(cè)量方式是最方便快捷的，它關(guān)鍵是在顯微鏡的目鏡上邊，激光打標(biāo)了，標(biāo)尺線，此線是依照我國(guó)標(biāo)  準(zhǔn)打上去的。樣子基本上是十字型，隨后在十字線沖分的有方格。每列的標(biāo)準(zhǔn)尺寸是0.1MM。此方式只有測(cè)量長(zhǎng)短。觀查的方式：調(diào)清晰所看的物件后，把要測(cè)量的物件挪動(dòng)在標(biāo)尺網(wǎng)上，隨后讀值，什么是測(cè)量顯微鏡？例如。所看的物件占有了標(biāo)尺線的3方格。那麼測(cè)量的規(guī)格就是0.3MM，假如沒布滿，就必須估計(jì)。此類測(cè)量方式，精準(zhǔn)度較為差?？墒潜憬?。

第二種：測(cè)量顯微鏡軟件測(cè)量方式這類測(cè)量方式非常復(fù)雜一些。它是根據(jù)工業(yè)鏡頭，將圖象收集到電腦，隨后根據(jù)軟件測(cè)量。測(cè)量的方式十分的多，例如：長(zhǎng)短 視角 園的直徑 直徑，總面積，還不規(guī)則圖形的總面積測(cè)量，內(nèi)切圓的圓心點(diǎn)差，弦長(zhǎng)，弧的視角等。假如專業(yè)的測(cè)量軟件，能夠全自動(dòng)爬取顆粒物，全自動(dòng)讀取，顆粒物數(shù)。乃至包含全自動(dòng)測(cè)量作用等。還能夠?qū)y(cè)量的主要參數(shù)以表格的方式輸出，乃至能夠隨意定制。這類軟件作用十分多，在這兒也不一一敘述了。測(cè)量的方式: 調(diào)整清晰顯微鏡后，把電腦的軟件開啟。隨后有圖象會(huì)表明在電腦上，隨后依照軟件的規(guī)格糾正流程，先把軟件糾正精確，糾正軟件的情況下是必須校準(zhǔn)尺的，校準(zhǔn)尺分：0.1MM。 0.01MM  1MM 3種。要依照不一樣的顯微鏡，要挑選。糾正精確之后，就簡(jiǎn)易了。如平行線測(cè)量，點(diǎn)一下起止點(diǎn)，再點(diǎn)一下停止點(diǎn)。規(guī)格，就全自動(dòng)測(cè)算出來了。這類軟件精密度，能夠做到。 0.001-0.002MM。假如高倍率得話，精密度會(huì)高些。

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