根據(jù)光柵所處的環(huán)境不同，可分為真空型和非真空型臺(tái)式真空直讀光譜儀，其中非真空臺(tái)式真空直讀光譜儀又可分為空氣型直讀光譜儀（無(wú)法測(cè)定真空紫外波段的C、P、S、As等元素含量）和充惰性氣體型直讀光譜儀（可以測(cè)定真空紫外元素），這里面又有什么奧秘呢？下面隨著博越工程師一探究竟。

首先真空臺(tái)式直讀光譜儀的結(jié)構(gòu)要比非真空直讀光譜光復(fù)雜，在真空條件下必須保證各種光學(xué)不變形不位移，尤其是分光室的結(jié)構(gòu)必須考慮受力均勻，變形小。對(duì)于真空度為10-3mm/Hg，要有專(zhuān)用真空泵設(shè)備，為了防止油蒸汽污染分光儀的內(nèi)部，影響光學(xué)零件的透過(guò)率，真空泵設(shè)在分光儀的底部。并且5代在設(shè)計(jì)上采用防震措施，使整個(gè)分光儀的光路不受震動(dòng)的影響。這樣真空室內(nèi)與真空外部接觸的運(yùn)動(dòng)零件要減少，并且密封，免除抽真空時(shí)發(fā)生漏氣，影響真空度。

真空直讀光譜儀主要是用來(lái)研究真空紫外光譜區(qū)光譜，對(duì)鑄造分析來(lái)講，主要是應(yīng)用于碳、硫、磷、砷、硼等元素分析。由于空氣嚴(yán)重影響遠(yuǎn)紫外光譜的吸收，所以必須把分光室內(nèi)抽成真空。這是由于空氣成分主要是由氮、氧、水蒸汽和各種惰性氣體組成，其中以前三者含量最高，空氣對(duì)遠(yuǎn)紫外光譜的吸收是很強(qiáng)烈的，尤其以氧氣的吸收最為嚴(yán)重。惰性氣體的吸收是比較小的，可以忽略不計(jì)。如5代光譜分析儀真空直讀光譜儀的分光系統(tǒng)置于無(wú)氧的空間中為此配備了抽氣系統(tǒng)，抽氣系統(tǒng)由高速泵組成。為了防止抽至低真空時(shí)，光電倍增管的管帽間產(chǎn)生輝光放電而燒毀儀器，在分光室上裝有保護(hù)器，當(dāng)真空度小于0.03Mpa時(shí)光電倍增管負(fù)高壓自動(dòng)切斷。

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